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DPC陶瓷基板又可分為薄膜直接鍍銅技術

 時間:2021-11-22     瀏覽:2587     分享

市場上從結構與制作工藝而言,陶瓷基板又可分為高溫共燒多層陶瓷基板(HTCC)、低溫共燒陶瓷基板(LTCC)、厚膜陶瓷基板(TFC)、直接敷銅陶瓷基板(DBC)、直接鍍銅陶瓷基板(DPC)等。

 

而其中直接敷銅陶瓷基板和直接鍍銅陶瓷基板僅有一字之差,但卻是兩種不同的陶瓷基板制備技術,今天我們來看一看這兩種陶瓷基板各蘊含著怎樣的玄機。

 

直接鍍銅DPC陶瓷基板是將陶瓷基板做預處理清潔,利用半導體工藝在陶瓷基板上濺射銅種子層,再經曝光、顯影、蝕刻、去膜等光刻工藝實現(xiàn)線路圖案,最后再通過電鍍或化學鍍方式增加銅線路的厚度,移除光刻膠后即完成金屬化線路制作。

 

直接鍍銅DPC陶瓷基板主要優(yōu)缺點:

1.優(yōu)點:

低溫工藝(300℃以下),完全避免了高溫對材料或線路結構的不利影響,也降低了制造工藝成本;

采用薄膜與光刻顯影技術,使基板上的金屬線路更加精細(線寬尺寸20~30m,表面平整度低于0.3m,線路對準精度誤差小于±1%),因此DPC陶瓷基板非常適合對準精度要求較高的電子器件封裝。

2.缺點:

電鍍沉積銅層厚度有限,且電鍍廢液污染大;

金屬層與陶瓷間的結合強度較低,產品應用時可靠性較低。

 

直接鍍銅DPC陶瓷基板

1)金屬線路層與陶瓷基片的結合強度是影響DPC陶瓷基板可靠性的關鍵。由于金屬與陶瓷間線膨脹系數(shù)差較大,為降低界面應力,需要在銅層與陶瓷間增加過渡層,從而提高界面結合強度。由于過渡層與陶瓷間的結合力主要以擴散附著及化學鍵為主,因此常選擇Ti、Cr和Ni等活性較高、擴散性好的金屬作為過渡層(同時作為電鍍種子層)。

 

2)電鍍填孔也是DPC陶瓷基板制備的關鍵技術。目前DPC陶瓷基板電鍍填孔大多采用脈沖電源,其技術優(yōu)勢包括:易于填充通孔,降低孔內鍍層缺陷;表面鍍層結構致密,厚度均勻;可采用較高電流密度進行電鍍,提高沉積效率。

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